1、盡量減少產(chǎn)品相互磨擦產(chǎn)生靜電
這是控制靜電三個方法的第一步，在這凈化工作環(huán)境中， 好的措施：
（1）盡量采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷；
（2）盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷；
（3）盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程
2、泄放靜電和中和靜電
這是控制靜電三個方法的第二步，在微電子生產(chǎn)的凈化室中 通常的措施是接地，采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。
（1）接地
潔凈室應設一個獨立靜電接地系統(tǒng)（包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)），以便室內所有設備金屬外殼、移動設備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地，設備外殼、移動設備（車、椅、貨架等）、工作臺等則屬軟接地。
（2）離子靜電消除器
潔凈室中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB，生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導體和絕緣介質材料（例如大多數(shù)普通塑料）。在某些環(huán)境下，離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷，而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質上和孤立導體上的所帶靜電電荷。
（3）導靜電和靜電耗散材料
導靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導靜電性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且比金屬導體泄放更具有安全性，通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉容器、鑷子、刷子等防靜電器材。
3、防止ESD，保護產(chǎn)品
這是控制靜電的發(fā)生三個方法中 后一步。在微電子生產(chǎn)的凈化室中，為阻止ESD發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、PCB上，一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產(chǎn)品上存在的靜電荷；另一種方法是用恰當?shù)陌b方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動而產(chǎn)生靜電荷。
美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控制大綱，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。
